[发明专利]派工系统和派工方法

摘要

一种派工系统和派工方法，包括：本发明通过对制造执行系统设备组内设备的实时数据、产品的生产周期表以及设备的工艺能力限制，获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置。并根据限定时间内的设备历史数据，反应获得系统的运行状况与最佳产能配置偏差的设备落后系数，并将设备落后系数与在制品相关联获得在制品落后系数，并根据在制品落后系数排序，获得派工单，对所述半导体制造执行系统进行派工。从而使制造执行系统中所有设备的设备利用率平均化。在整体产出速率不变的情况下，缩短设备前在制品排队的长度，降低在制品数量，实现缩短生产周期的目的。

主权项

一种派工系统，用于对半导体制造执行系统进行派工，所述半导体制造执行系统包括设备组，设备组中的设备用于对在制品执行相应的工艺步骤，以获得产品，其特征在于，所述派工系统包括：获取模块，用于根据设定的开始时间和结束时间，获得限定时间；还用于获取产品的标准生产周期表以及产品的下线计划表；所述获取模块还用于获取与产品名称和工艺序号相对应的设备组内的设备工艺能力限制以及设备组内的设备历史数据以及制造执行系统中设备组内设备的实时数据；配置模块，用于获取工艺流程数据以及设备和设备组关系数据；还与获取模块相连，用于根据所述制造执行系统中设备组内设备的实时数据、所述产品的下线计划表以及所述标准生产周期表、工艺流程数据，获得限定时间内与产品名称以及工艺序号相对应的设备组静态工艺步骤产量需求，所述设备组静态工艺步骤产量需求包括与产品名称以及工艺序号相对应的设备组移动需求量，并在所述设备组静态工艺步骤产量需求和所述设备工艺能力限制的限制下，根据设备组内设备的所述设备历史数据，获得与设备组内的设备相对应的最佳产能配置；所述配置模块还用于根据所述设备历史数据和所述最佳产能配置，获得与工艺序号相对应的设备落后系数；输出模块，与所述配置模块相连，用于根据所述设备落后系数，获得与在制品相对应的在制品落后系数，并根据所述在制品落后系数的大小对在制品进行设备指派；还用于将设备端已经指派的在制品按在制品落后系数的大小排序，并输出设备相对应的派工单。