[发明专利]一种微通道板分辨力的测量装置

摘要

本发明公开了一种微通道板分辨力的测量装置，主要用于微通道板生产厂家和用户测量其分辨力。主要技术方案是选定微通道板分辨力的标准参数后，通过装置测出待测微通道板的分辨力，装置结构，在真空腔内安装一个夹具，真空腔的上盖有一个观察窗，观察窗的上部装有光学镜头、CCD摄像机并与计算机连接，真空腔的下部连接真空泵，通过引线柱分别与高压电源和夹具中的输入输出端相连。本发明通过试用证明填补了厂家和用户对微通道板分辨力无法测量的空白，从根本上消除了因微通道板分辨力达不到要求而导致成批的微光像增强器等有关产品报废的现象，达到有效地提高和保证了微通道板的质量，适应现代化生产的需求。

主权项

一种微通道板分辨力的测量装置，其特征在于：装置总体结构，在真空腔（6）内，放置一个绝缘座（13），绝缘座上配合安装一个夹具（12），真空腔的上盖（7）有一个观察窗（11），在观察窗的上部通过支架安装有光学镜头（10）、CCD摄像机（9），CCD摄像机与计算机（8）相连接，真空腔（6）的左下部连接真空规（15）、真空阀门（14）、涡轮分子泵（16）、机械泵（17），真空腔（6）的右下部装有引线柱（19），通过导线与高压电源（18）相连；MCP（26）分辨力测量的具体操作：a、选择一支各项指标比较好的以MCP（26）作为电子倍增的微光像增强器，在普通的微光像增强器测试台上测出它的分辨力值R0作为待测MCP分辨力的标准值；b、将微光像增强器中的MCP（26）拆下来作为标准MCP，清洁后装入夹具（12）中的安装环（25）上，之后将开口弹簧压圈（24）安装在MCP（26）和装配环（23）之间，将MCP固定在安装环（25）上，使MCP分别与装配环、安装环相连接；c、关闭真空腔（6）的真空阀门（14），向真空腔内冲入干燥氮气，待真空腔内的压力达到大气压时，打开真空腔的上盖（7），将已安装好MCP（26）的夹具（12），放入真空腔内的绝缘座（13）上，分别接好MCP（26）输入端装配环（23）、输出端安装环（25）和荧光屏（28）输出端封接环（29）的导线，盖上真空腔的上盖（7），关闭氮气充气阀门，按顺序打开机械泵（17）、涡轮分子泵（16）和真空阀门（14），对真空腔（6）进行抽真空，当达到极限真空时，保持抽真空1小时以上，此时真空度应该优于10‑4帕，打开高压电源（18），对MCP（26）和荧光屏（28）缓慢施加工作电压，将CCD摄像机（9）和光学镜头（10）调在观察窗（11）正上方，打开CCD摄像机（9）及计算机（8）的电源；d、在计算机屏幕上观察荧光屏（28）上MCP暗发射亮斑图像，当MCP工作10分钟后，开始采集图像，利用计算机软件测量所有亮斑的直径，并计算出平均值d1作为待测MCP（26）的暗发射亮斑直径的标准值；e、测量完后，关闭真空阀门（14），向真空腔（6）内冲入干燥氮气，待真空腔内的压力达到大气压时，打开真空腔上盖（7），取出夹具（12），卸下标准MCP（26）；f、按照步骤b、c、d、e的程序，测量出待测MCP（26）的五个暗发射亮斑直径的平均值d2；g、待测MCP（26）的分辨力R根据式子R=d1/d2×R0计算得到。