[发明专利]高分子合成材料抗腐蚀涂层处理工艺

摘要

一种高分子合成材料抗腐蚀涂层处理工艺，其特征在于包括：一、离子风枪表面去静电处理：将待处理的材料加工面朝上固定在生产夹具中，使用离子风枪对表面进行往复式清洁；二、射频表面处理：将材料搬运至射频发生设备内，利用射频发生器产生大量的等离子体对材料进行等离子蚀刻，消除表面应力，再次清洁；三、第一次过渡涂层镀膜：将射频处理后的产品搬入镀膜设备中，利用直流电源对气体电离，加速轰击溅射材料，在材料表面沉积一层复合薄膜；四、第二次过渡涂层镀膜：一次溅射完成后，经过设备搬运过程缓冲，再次进行二次溅射镀膜工艺，二次溅射处理后，在材料表面形成厚度为3000～5000nm的高密度薄膜。本发明可大幅提高塑料表面的耐腐蚀性能。

主权项

1.一种高分子合成材料抗腐蚀涂层处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、离子风枪表面去静电处理：将待处理的材料加工面朝上固定在生产夹具中，使用离子风枪对表面进行往复式清洁，所述离子风枪的工作电压为5.5‑7KV，工作电流为200UA，气流速度＞10m/s，时间不少于3秒，以去除材料的表面静电和附着的颗粒；步骤二、射频表面处理：将材料搬运至射频发生设备内，在真空环境下冲入高纯气体，利用射频发生器产生大量的等离子体，在磁场的作用下，对材料进行等离子蚀刻，消除表面应力，并再次清洁，以提高下道工序的涂层附着力；步骤三、第一次过渡涂层镀膜：将射频处理后的产品搬入镀膜设备中，同样在真空环境下冲入流量在100‑300Sccm的反应气体，利用直流电源对气体电离，电子在磁场的作用下，加速轰击溅射材料，同时冲入流量在100‑300Sccm的氧气对材料进行氧化，在材料表面沉积一层氧化或半氧化的复合薄膜，以提高材料的抗腐蚀性，所述溅射材料为Si或Sn或In或Cr；步骤四、第二次过渡涂层镀膜：一次溅射完成后，经过设备搬运过程缓冲，再次进行二次溅射镀膜工艺，该二次溅射镀膜工艺和步骤三相同；二次溅射处理后，在材料表面形成厚度为3000nm～5000nm的高密度薄膜。