[发明专利]制程管控线的生成方法和装置及制程管控系统有效
| 申请号： | 201510355094.9 | 申请日： | 2015-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106325227B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 姚海燕 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;张永明 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制程管控线的生成方法和装置及制程管控系统。其中，该方法包括：获取数据波动图表的当前预设周期波动数据；判断当前预设周期波动数据是否包括异常数据；如果当前预设周期波动数据不包括异常数据，则获取数据波动图表的历史有效数据，其中，历史有效数据为滤除异常数据的历史数据；以及根据当前预设周期波动数据和历史有效数据生成管控线。本发明解决了由于现有的自动管控系统只能收紧管控线，致使管控线过于严格而导致误报的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 制程管控线 生成 方法 装置 制程管控 系统 | ||
【主权项】：
1.一种制程管控线的生成方法，其特征在于，包括：获取数据波动图表的当前预设周期波动数据；判断所述当前预设周期波动数据是否包括异常数据；如果所述当前预设周期波动数据不包括所述异常数据，则获取所述数据波动图表的历史有效数据，其中，所述历史有效数据为滤除所述异常数据的历史数据；以及根据所述当前预设周期波动数据和历史有效数据生成管控线，在根据所述当前预设周期波动数据和历史有效数据生成管控线之后，所述方法还包括：提取计算所述管控线时得到的中心线；比较计算得到的中心线和当前中心线的差值的绝对值是否大于预定数值；在所述计算得到的中心线和所述当前中心线的差值的绝对值大于所述预定数值，则修改所述当前中心线为所述计算得到的中心线，否则，继续使用所述当前中心线。
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