[发明专利]一种优质碳化硅晶体生长装置在审
| 申请号： | 201510355710.0 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN105040103A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 董明东;刘欣宇;林琳 | 申请（专利权）人： | 江苏艾科勒科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 陈丽君 |
| 地址： | 212000 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种优质碳化硅单晶生长装置，包括石英管、晶体生长室、旋转托盘和感应线圈，石英管内部设有晶体生长室和旋转托盘，旋转托盘包括水平板与竖直杆，竖直杆与水平板中心连接，形成一种“T”型结构，晶体生长室置于水平板上，晶体生长室与竖直杆同轴设置，竖直杆外部设有真空密封传动装置和旋转马达，晶体生长室包括坩埚盖和坩埚体，晶体生长室外部设有感应线圈，感应线圈呈螺旋状缠绕在石英管外壁上，感应线圈与石英管外壁呈一定倾斜角度θ；通过旋转托盘带动晶体生长室的绕中心轴匀速旋转，抵消感应线圈的非轴对称对晶体生长造成的负面影响，以减少晶体生长位错，提高晶体生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 优质 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
一种优质碳化硅单晶生长装置，其特征为，包括石英管、晶体生长室、旋转托盘和感应线圈，所述石英管内部设有晶体生长室和旋转托盘，所述旋转托盘包括水平板与竖直杆，所述的竖直杆与水平板中心连接，形成一种“T”型结构，所述晶体生长室置于旋转托盘的水平板上，所述晶体生长室与旋转托盘的竖直杆同轴设置，所述的竖直杆外部自上而下依次设有真空密封传动装置和旋转马达，所述的晶体生长室包括坩埚盖和坩埚体，所述坩埚盖与坩埚体配合使用，所述晶体生长室外部设有感应线圈，所述的感应线圈呈螺旋状缠绕在石英管外壁上，所述感应线圈与石英管外壁呈一定倾斜角度θ，所述θ为70 ~ 85°。
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