[发明专利]高真空烘烤装置及其方法在审
| 申请号： | 201510355912.5 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104964556A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 魏家雄;汤家明 | 申请（专利权）人： | 深圳市迪瑞达自动化有限公司 |
| 主分类号： | F26B23/06 | 分类号： | F26B23/06;F26B25/00 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 皮发泉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高真空烘烤装置及其方法，包括主控制器、真空烤箱、真空泵以及分子泵套件；真空烤箱通过连通管道与分子泵套件进气口相通，分子泵套件出气口与真空泵进气口通过密闭式管道对接，真空泵出气口接一根排气管，主控制器分别与真空烤箱、真空泵以及分子泵套件电连接；主控制器控制真空烤箱中的温度加热到60～120℃，在真空泵将真空烤箱抽至50Pa以下后，启动分子泵套件进一步将真空烤箱循环抽真空至-0.005Pa以下的高真空状态。在烘烤时，将真空烤箱内通过两级抽真空处理，将真空烤箱抽成高真空状态，高真空烘烤系统能实现极低水份空间，同时高真空状态下真空烤箱烘烤赶出材料中的微量水份，解决了箱体中水分的烘烤问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 烘烤 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种高真空烘烤装置，其特征在于，包括主控制器、真空烤箱、真空泵以及分子泵套件；所述真空烤箱通过连通管道与分子泵套件进气口相通，所述分子泵套件出气口与真空泵进气口通过密闭式管道对接，所述真空泵出气口接一根排气管，所述主控制器分别与真空烤箱、真空泵以及分子泵套件电连接；所述主控制器控制真空烤箱中的温度加热到60～120℃，在真空泵将真空烤箱抽至50Pa以下后，调节高速泵套件进一步将真空烤箱循环抽真空至0.005Pa以下的高真空状态，抽出气体通过排气管排到大气中。
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