[发明专利]NOx传感器的基于纳秒-皮秒-飞秒激光复合技术的3D打印制备方法在审

专利信息
申请号: 201510356921.6 申请日: 2015-06-25
公开(公告)号: CN105014769A 公开(公告)日: 2015-11-04
发明(设计)人: 刘胜;付兴铭;刘亦杰;郑怀;杨军;曹钢;吴登峰 申请(专利权)人: 武汉大学;武汉飞恩微电子有限公司
主分类号: B28B1/00 分类号: B28B1/00;B28B17/00;C04B35/64
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 张火春
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种NOx传感器的基于纳秒-皮秒-飞秒激光复合技术的3D打印制备方法,属于NOx传感器领域。该方法包括如下步骤:(1)在工作平台上铺设原材料粉末并预热;(2)采用纳秒激光对工作平台上的原料进行烧结熔化,同时采用实时监控系统检测传感器各打印层结构的精度;(3)依次反复重复步骤(1)和(2),直到完成NOx传感器的制备。其优点是:本发明有效避免现今激光烧结过程中出现的吹粉,残余应力等复杂问题,可以省去补偿步骤;本发明实现了更精确的尺寸控制和电阻阻值控制,工艺更简单不需要后续修阻,具有更好的一致性。
搜索关键词: no sub 传感器 基于 激光 复合 技术 打印 制备 方法
【主权项】:
一种NOx传感器的基于纳秒‑皮秒‑飞秒激光复合技术的3D打印制备方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)在工作平台上铺设原材料粉末并预热;(2)采用纳秒激光对工作平台上的原料进行烧结熔化,同时采用实时监控系统检测传感器各打印层结构的精度;(3)依次反复重复步骤(1)和(2),直到完成NOx传感器的制备。
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