[发明专利]导线架结构的制作方法有效
申请号: | 201510356927.3 | 申请日: | 2015-06-25 |
公开(公告)号: | CN106206325B | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 石智仁 | 申请(专利权)人: | 南茂科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/495 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种导线架结构的制作方法,包括下列步骤:首先,提供金属基板,对金属基板进行图案化工艺,以形成导线架,导线架具有电镀表面以及底面;接着,提供载板,形成高分子涂料层于载板上;将导线架设置于载板上,使高分子涂料层沾附于底面而形成阻障层,阻障层覆盖底面;接着,移除载板;以阻障层作为电镀罩幕对导线架进行电镀工艺,以形成金属镀层于电镀表面;最后,移除阻障层。本发明提供的导线架制作方法,阻障层的设置,可得到电镀层均匀且电镀层只形成在电镀表面的导线架结构,提高了工艺良率;另外,载板可以重复利用,降低了制作成本。 | ||
搜索关键词: | 导线 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种导线架结构的制作方法,其特征在于,包括:提供金属基板;对所述金属基板进行图案化工艺,以形成导线架,其中所述导线架包括多个引脚,且所述导线架具有电镀表面以及底面;提供载板;形成高分子涂料层于所述载板上;将所述导线架设置于所述载板上,使所述高分子涂料层沾附于所述底面以及各所述多个引脚的部分侧壁而形成阻障层,所述阻障层覆盖所述底面以及所述多个部分侧壁;移除所述载板;以所述阻障层作为电镀罩幕对所述导线架进行电镀工艺,以形成金属镀层于所述电镀表面;以及移除所述阻障层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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