[发明专利]能调整角度的多轴承载装置

摘要

一种能调整角度的多轴承载装置，主要是在一固定平台上分别设置至少一第一移动单元、至少一第二移动单元、二第一活动单元、一第一驱动单元，及一第二驱动单元，第一移动单元与第二移动单元及所述第一活动单元并连设一第一量测平台。借第一、二驱动单元同时分别驱动第一、二移动单元沿X轴向位移相同距离，会连动第一量测平台及两第一活动单元升降而进行Z轴向位移，当第一、二移动单元沿X轴向位移不同距离时，第一量测平台还会受第一、二移动单元和所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。所以能提供高精度的多轴向移动等功效。

主权项

1.一种能调整角度的多轴承载装置，包含：一个第一平台模块，该第一平台模块包括一个固定平台，其特征在于：该第一平台模块还包括至少一个设置于该固定平台上的第一移动单元、至少一个设置于该固定平台上且位于该第一移动单元旁侧的第二移动单元、二个设置于该固定平台上且沿Y轴方向间隔设置的第一活动单元、一个连设于该第一移动单元与该第二移动单元和所述第一活动单元的第一量测平台、一个设置于该固定平台上且与该第一移动单元相连接并能驱动该第一移动单元移动的第一驱动单元，以及一个设置于该固定平台上且与该第二移动单元相连接并能驱动该第二移动单元移动的第二驱动单元，二个所述第一活动单元分别与该第一量测平台的两相对侧相连接，借此该第一驱动单元与该第二驱动单元同时分别驱动该第一移动单元、该第二移动单元进行X轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元相向或反向位移且位移距离相同时，会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，当该第一移动单元与该第二移动单元同向位移且位移距离相同时，则该第一量测平台呈现Yθ角度旋转，当该第一移动单元与该第二移动单元位移距离不同时，则会连动该第一量测平台进行Z轴向位移，同时该第一量测平台还会受所述第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。