[发明专利]化学机械抛光浆液有效
| 申请号： | 201510357090.4 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN105862044B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 杨逸涵;刘文成;何明彻;陆明辉;张松源 | 申请（专利权）人： | 盟智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/04 | 分类号： | C23F3/04 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种pH值介于8.5至13.5之间的化学机械抛光浆液，用于对不锈钢基材进行抛光，其包括含量为10至50wt％的研磨颗粒；含量为0.001至2.0wt％的散热剂；含量为0.001至1.0wt％的氧化剂；含量为10至5000ppm的润滑提升剂；以及含量为10至5000ppm的发泡抑制剂，其中该研磨颗粒的粒径尺寸介于20至500nm之间。根据本发明之碱性抛光浆液能于化学机械抛光后达到提高抛光效果、表面质量与抛光后之表面保护效益。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 浆液 | ||
【主权项】：
1.一种pH值介于8.5至13.5之间的化学机械抛光浆液，包含：含量为10至50wt%的研磨颗粒；含量为0.001至2.0wt%的散热剂；含量为0.001至1.0wt%的氧化剂；含量为10至5000ppm的润滑提升剂；以及含量为10至5000ppm的发泡抑制剂，其中该研磨颗粒的粒径尺寸介于20至500nm之间。
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