[发明专利]电子零件封装体的制造方法有效
申请号: | 201510358148.7 | 申请日: | 2015-06-25 |
公开(公告)号: | CN105321831B | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 岡田博和;三浦宗男 | 申请(专利权)人: | 东和株式会社 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及电子零件封装体的制造方法,能够在不使基板或该基板上的配线破损之下,在密封树脂上形成屏蔽用沟槽或通孔用孔。该电子零件封装体的制造方法,是在密封已配设在基板上的电子零件及电极垫的密封树脂的表面上,形成到达该电极垫的沟槽或孔,其包含:第1步骤,在该密封树脂的表面上的供形成该沟槽或孔的位置,通过模具成形而形成未到达该电极垫的预备沟槽或预备孔;以及第2步骤,通过使在该第1步骤中形成的预备沟槽或预备孔的深度增大的加工而使该电极垫露出。 | ||
搜索关键词: | 电极垫 电子零件封装 密封树脂 基板 预备孔 预备 制造 电子零件 模具成形 深度增大 屏蔽 配线 通孔 密封 破损 加工 | ||
【主权项】:
1.一种电子零件封装体的制造方法,是在密封已配设在基板上的电子零件及电极垫的密封树脂的表面上,形成到达该电极垫的沟槽或孔,其特征在于,包含:a)在该密封树脂的表面上的供形成该沟槽或孔的位置,通过模具成形而形成未到达该电极垫的预备沟槽或预备孔的第1步骤;以及b)通过使在该第1步骤中形成的预备沟槽或预备孔的深度增大的加工而使该电极垫露出的第2步骤;其中,该第1步骤,包含以下步骤:使用一模具、与在腔室底部具备有具有低于该沟槽或孔的深度的高度的突起销的另一模具,使从背面侧保持该基板的该一模具与该另一模具抵接且紧固模具,并在该腔室中填充树脂材料;其中,在该第1步骤中,通过设置在可从该腔室的底面突出的顶出销的头部顶面的该突起销而形成该预备沟槽或预备孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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