[发明专利]微机械系统和用于制造微机械系统的方法有效
| 申请号： | 201510359084.2 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN105217560B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | T·考茨施;H·弗雷利施;M·福格特;M·施特格曼;B·宾德 | 申请（专利权）人： | 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 郑立柱,吕世磊 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及一种微机械系统和用于制造微机械系统的方法，该方法包括在前道制程(FEOL)工艺中在晶体管区域中形成晶体管；在FEOL工艺之后，形成牺牲层；对牺牲层进行结构化以形成经结构化的牺牲层；形成至少部分地覆盖经结构化的牺牲层的功能层；以及去除牺牲层以创建空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造微机械系统的方法，所述方法包括：在前道制程(FEOL)工艺中在晶体管区域中形成晶体管；在所述前道制程工艺之后，形成牺牲层；对所述牺牲层进行结构化以形成经结构化的牺牲层；形成至少部分地覆盖所述经结构化的牺牲层的功能层；以及去除所述牺牲层以创建空腔；进一步包括热处理，其中所述热处理激活所述功能层的掺杂原子并提供对所述功能层的原子结构的重构。
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