[发明专利]将旋转台式激光直写装置的转轴与直写光轴对准的对准组件和方法

摘要

一种将旋转台式激光直写装置的转轴与直写光轴对准的组件，直写装置包括激光源；激光路径，依次设置有激光调制器、第一反射镜、第二反射镜和显微物镜，激光束被激光调制器调制后通过第一和第二反射镜反射而入射到显微物镜上；旋转台，旋转台的台面垂直于直写光轴。对准组件包括：平板件，一侧设置有金属薄膜，平板件固定于旋转台的台面上，且金属薄膜面向显微物镜；和数字成像系统，包括照明光源、可见光分光片、图像传感器、显示器，其中来自照明光源的可见光经由分光片反射后透射通过第二反射镜而通过显微物镜入射到金属薄膜上，由金属薄膜反射的可见光通过显微物镜、第二反射镜、可见光分光片而进入图像传感器，显示器显示来自图像传感器的图像。

主权项

一种将旋转台式激光直写装置的转轴与直写光轴对准的对准组件，所述旋转台式激光直写装置包括激光源；激光路径，依次设置有激光调制器、第一反射镜、第二反射镜和显微物镜，来自激光源的激光束被激光调制器调制后通过第一反射镜和第二反射镜反射而入射到显微物镜上；旋转台，旋转台的台面垂直于直写光轴，其中所述对准组件包括：平板件，所述平板件的一侧设置有金属薄膜，平板件固定于所述旋转台的台面上，且平板件的设置有金属薄膜的一侧面向所述显微物镜；和数字成像系统，包括照明光源、可见光分光片、图像传感器、显示器，其中来自照明光源的可见光经由可见光分光片反射后透射通过第二反射镜而通过显微物镜入射到平板件的金属薄膜上，由金属薄膜反射的可见光通过显微物镜、第二反射镜、可见光分光片而进入图像传感器，显示器显示来自图像传感器的图像。