[发明专利]一种功率器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201510363168.3 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN106328704B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李理;马万里;赵圣哲 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100871 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种功率器件及其制造方法，所述功率器件包括外延层，所述外延层具有截止环区域，在所述外延层的截止环区域形成有多个相间隔的截止环。通过设置多个截止环，当耗尽层电场过强时，如果有一个截止环被击穿，其他截止环还可以起到终止电场的作用，这样即使截止环与分压区域的距离较小，也能满足要求；能够使得功率器件的面积大大减小，提高了功率器件的利用率，而且生产过程中受生产条件影响较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种功率器件，所述功率器件包括外延层，所述外延层具有有源区域、分压区域、截止环区域和划片道区域，所述分压区域设置于所述有源区域的外围，所述截止环区域设置于所述有源区域的外围，所述划片道区域设置于所述截止环区域的外围，其特征在于，在所述外延层的截止环区域形成有多个相间隔的截止环；每一个截止环包括一个绝缘环和一个离子注入环；所述绝缘环环绕在所述离子注入环的外围，且与所述离子注入环相接触。
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