[发明专利]微机械系统和用于制造微机械系统的方法

摘要

微机械系统和用于制造微机械系统的方法。制造微机械系统的方法包括在FEOL工艺中在晶体管区域中形成晶体管的步骤。在FEOL工艺之后，在晶体管区域中沉积保护层，其中保护层包括隔离材料。至少在不是晶体管区域的区域中形成结构化牺牲层。此外，形成至少部分覆盖结构化牺牲层的功能层。在形成功能层之后，去除牺牲层以便在功能层与沉积有牺牲层的表面之间产生空腔。保护层保护晶体管避免在MOL以及BEOL工艺中的进一步处理步骤中的蚀刻工艺期间受到损害。相同的氧化物可以用作BEOL中的金属化工艺的基础。因此，通常用作晶体管的保护的保护层可以保留在晶体管上方。因此，在BEOL工艺之前施加的保护层变成氧化物覆盖物的部分。

主权项

1.一种用于制造微机械系统的方法，所述方法包括：在晶体管区域中以前段制程FEOL工艺形成晶体管；在所述FEOL工艺之后，在所述晶体管区域中沉积保护层，其中所述保护层包括隔离材料；形成牺牲层；对所述牺牲层进行结构化以形成结构化牺牲层；形成至少部分覆盖所述结构化牺牲层的功能层；去除所述牺牲层以产生空腔；在晶体管区域的至少一部分上方形成介电层；在介电层上方形成至少一个金属层；以及在晶体管区域中在所述保护层与至少一个晶体管上方的介电层之间形成界面。