[发明专利]不同膜层厚度的丝网印刷方法在审
| 申请号： | 201510365844.0 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105172400A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 尤广为;李寿胜;肖雷;鲍秀峰 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | B41M1/12 | 分类号： | B41M1/12;G03F1/68 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路中丝网印刷不同膜层厚度材料的方法,包括以下步骤：a.根据原有的一层乳剂膜丝网掩膜版的版图，在需要加厚的膜层位置周围，设置一圈宽度为1～2mm的方框，形成乳剂膜加厚图形版图；b.将上述版图反绘成乳剂膜加厚图形黑白底片；c．在原丝网掩膜版的第一层乳剂膜上再粘贴上第二层乳剂膜，将加厚图形黑白底片放置在第二层乳剂膜膜层上通过曝光显影后，形成加厚乳剂膜图形膜层；d．用加厚乳剂膜丝网掩膜版，通过丝网印刷机印刷出不同膜厚导电胶膜层或导电带膜层。本发明的优点如下：通过一次印刷形成不同厚度厚膜导电浆料或导电胶膜层，节约大量材料成本，其膜层尺寸大小和膜厚控制一致性好，加工精度高，工艺难度低。 | ||
| 搜索关键词： | 不同 厚度 丝网 印刷 方法 | ||
【主权项】：
不同膜层厚度的丝网印刷方法，包括采用原有的第一层乳剂膜的丝网掩膜版，其特征在于包括以下步骤：a.根据原有的第一层乳剂膜的丝网掩膜版的版图，在每个需要加厚的导电胶膜层或导电带膜层位置的周围，设置一圈宽度为1～2mm的加厚图形方框，设计出乳剂膜加厚图形版图；b.根据设计的乳剂膜加厚图形版图制作反绘底片，将乳剂膜加厚图形版图中的加厚图形方框通过光绘机进行反绘，形成乳剂膜加厚图形黑白底片，其中乳剂膜加厚图形方框为白色，其它区域为黑色；c．在原丝网掩膜版的第一层乳剂膜上再粘贴上所需厚度的第二层乳剂膜，然后将乳剂膜加厚图形黑白底片放置在第二层乳剂膜膜层上并对准第一层乳剂膜中的图形，通过曝光显影后，经过水洗将未曝光部分除去，曝光部分形成方框形的加厚乳剂膜图形膜层，最终形成加厚乳剂膜丝网掩膜版；d．将制好的加厚乳剂膜丝网掩膜版，通过丝网印刷机印刷出不同膜厚导电胶膜层或导电带膜层。
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