[发明专利]一种MEMS惯性传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201510368256.2 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN104891419B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;王昭智 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS惯性传感器及其制造方法，质量块包括第一绝缘层，以及设置在第一绝缘层上并相互绝缘的至少一个第一可动电极组、至少一个第二可动电极组，在所述衬底上还设置有共用固定电极组；其中，所述第一可动电极组、第二可动电极组作为两个检测电极，共用固定电极组作为共用电极，共同构成了差分电容结构。本发明的MEMS惯性传感器，差分电容结构的两个检测电极为质量块的可动结构，差分电容结构的共用电极锚定在衬底上，这就可以有效地减小检测电极对地的寄生电容，从而可以有效地提高输出信号的精度；而由于共用电极上加载的是调制信号，即使共用电极对地的寄生电容比较大，也不会影响到芯片的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 惯性 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS惯性传感器，其特征在于：包括衬底(1)，以及与衬底(1)共同围成密闭容腔的盖体(3)，在所述密闭容腔内还包括通过锚点悬置在衬底(1)上方的质量块，所述质量块包括第一绝缘层(7)，以及设置在第一绝缘层(7)上的至少一个第一可动电极组(4)、至少一个第二可动电极组(5)，所述第一可动电极组与第二可动电极组之间互相绝缘；在所述衬底(1)上还设置有共用固定电极组(6)；其中，所述第一可动电极组(4)、第二可动电极组(5)作为两个检测电极，共用固定电极组(6)作为共用电极，共同构成了差分电容结构。
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