[发明专利]用于底层的芳香族树脂

摘要

某种芳香族醇与某种二芳基取代的脂肪族醇的聚合反应产物被用作半导体生产工艺中的底层。

主权项

一种下述单体的聚合反应产物：一种或多种式(1)的第一单体(1)其中Ar1和Ar2独立地表示包含一个芳香环或者包含2‑7个稠合芳香环的芳香族部分；R1和R2独立地选自C1‑C20烷基，C2‑C20烯基，C2‑C20炔基，C6‑C30芳基，C7‑C30芳烷基和C7‑C30烷芳基；X1选自OH，SH和OR3；R3为C1‑C20烷基；和每个n1和n2独立地为选自0‑5的整数；其中一个R1和一个R2可以一起形成化学键以形成稠合的5‑7元的非芳香环；一种或多种式(2)的第二单体(2)其中Ar3和Ar4独立地表示包含一个芳香环或者包含2‑7个稠合芳香环的芳香族部分；R4选自羟基，C1‑C20烷基，C1‑C20烷氧基，C2‑C20烯基，C2‑C20炔基，巯基，C1‑C20烷硫基，C6‑C30芳基，C7‑C30芳烷基和C7‑C30烷芳基；R5选自C1‑C20烷基，C2‑C20烯基，C2‑C20炔基，C6‑C30芳基，C7‑C30芳烷基和C7‑C30烷芳基；X2选自OH，SH和OR6；R6为C1‑C20烷基；n3为0‑4的整数；和n4为0‑5的整数；其中一个R4和一个R5可以一起形成化学键以形成稠合的5‑7元的非芳香环；和任选的一种或多种式(3)的第三单体(3)其中R7选自羟基，C1‑C20烷基，C1‑C20烷氧基，C2‑C20烯基，C2‑C20炔基，巯基，C1‑C20烷硫基，C6‑C30芳基，C7‑C30芳烷基和C7‑C30烷芳基；R8选自C1‑C20烷基，C2‑C20烯基，C2‑C20炔基，和C7‑C30芳烷基；X3选自OH，SH和OR9；R9为C1‑C20烷基；和Ar5为包含一个芳香环或者包含2‑7个稠合芳香环的芳香族部分。