[发明专利]用于XY工作台的驱动器以及XY工作台有效
申请号: | 201510374007.4 | 申请日: | 2015-06-30 |
公开(公告)号: | CN105281536B | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 勒内·克拉韦尔;约翰·孔特尔 | 申请(专利权)人: | 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司 |
主分类号: | H02K41/03 | 分类号: | H02K41/03 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 梁丽超;陈鹏 |
地址: | 德国特劳*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 公开了一种用于XY工作台的驱动器以及XY工作台。该驱动器具有固定的、铁磁的U形磁轭(1),所述磁轭包括共同位于平面(XY)内的第一铁芯(1.1)和第二铁芯(1.2);并且具有可移动铁磁棒(2),所述磁轭(1)和棒(2)附带具有通量(Φ)的磁路,所述磁路沿着跨所述铁芯(1.1、1.2)与棒(2)之间的空气间隙的路径,并且从中引起抵消棒(2)的重力的垂直磁阻力。棒(2)与由所述铁芯(1.1、1.2)限定的平面(XY)平行并且位于所述平面之下。公开了具有这种驱动器的XY工作台。还公开了用于逆转工作台(6)的运动方向(X)的单独驱动器。 | ||
搜索关键词: | 用于 xy 工作台 驱动器 以及 | ||
【主权项】:
1.一种用于XY工作台的驱动器,包括固定的、铁磁的U形磁轭(1),所述磁轭具有共同位于平面XY内的第一铁芯(1.1)和第二铁芯(1.2);并且包括可移动铁磁棒(2),所述U形磁轭(1)和铁磁棒(2)附带具有通量(Φ)的磁路,所述磁路具有跨所述铁芯(1.1、1.2)与铁磁棒(2)之间的空气间隙的路径,并且在所述路径产生抵消铁磁棒(2)的重力的垂直磁阻力,其特征在于,所述铁磁棒(2)与由所述铁芯(1.1、1.2)限定的所述平面XY平行并且位于所述平面之下,其中,两个铁芯(1.1、1.2)中的至少一个由第二线圈(5)缠绕,通过使第二线圈通电,能够在铁芯(1.1、1.2)的方向上产生作用于所述铁磁棒(2)的水平力,所述水平力的强度和方向可调。
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