[发明专利]一种用于真空的三维形貌测量系统

摘要

本发明涉及一种用于真空的三维形貌测量系统，该测量系统工作于真空环境下，包括相连接的测量头和机械臂装置，所述测量头包括支架、投影组件、采集组件、计算机和电源，所述支架与机械臂装置连接，所述投影组件和采集组件设在支架上，所述电源与投影组件连接，所述计算机与采集组件连接；所述测量头在机械臂装置的带动下对准被测工件，投影组件对被测工件进行投影，采集组件采集被测工件的投影结果并传输给计算机，获得被测工件的三维形貌测量结果。与现有技术相比，本发明具有测量精度高、操作便携、能够适用于真空环境等优点。

主权项

1.一种用于真空的三维形貌测量系统，其特征在于，该测量系统工作于真空环境下，包括相连接的测量头(1)和机械臂装置(3)，所述测量头(1)包括支架(101)、投影组件、采集组件、计算机(110)和电源(111)，所述支架(101)与机械臂装置(3)连接，所述投影组件和采集组件设在支架(101)上，所述电源(111)与投影组件连接，所述计算机(110)与采集组件连接，所述采集组件包括两个子采集组件；所述测量头(1)在机械臂装置(3)的带动下对准被测工件(4)，投影组件对被测工件(4)进行投影，采集组件采集被测工件(4)的投影结果并传输给计算机(110)，获得被测工件(4)的三维形貌测量结果；所述投影组件包括投影挡板(102)、投影控制模块(103)和投影镜头组件(104)，所述投影挡板(102)设在支架(101)的顶面，所述投影镜头组件(104)与投影控制模块(103)连接；所述机械臂装置(3)包括机械臂(301)、机械限位柱(302)和基座(303)，所述机械臂(301)分别连接机械限位柱(302)和基座(303)，所述机械臂(301)为无表面油漆的机械臂，所述机械臂(301)内部的润滑介质为二硫化钼；还包括用于测量头(1)标定的标定板装置(2)，该标定板装置(2)包括相连接的标定板(201)和标定板保护罩(202)，所述标定板(201)内设有用于控制标定时间的时间控制模块；进行测量前，机械臂装置(3)带动测量头(1)至标定板装置(2)，对测量头(1)进行标定。