[发明专利]离轴抛物面镜关键参数的标定系统及方法

摘要

本发明涉及一种离轴抛物面镜关键参数的标定方法及系统，包括第一光路、第二光路、第三光路、第四光路以及第五光路；其中第一光路包括激光干涉仪、平面反射镜、基准十字靶标和离轴抛物面镜，激光干涉仪发出的汇聚光束焦点与离轴抛物面镜焦点完全重合，激光干涉仪发出的光束经过离轴抛物面镜反射后垂直入射在平面反射镜上并沿原路返回；基准十字靶放置在激光干涉仪汇聚光束焦点和离轴抛物面镜的原光轴的交汇处放置，基准十字靶标与激光干涉仪对猫眼；解决了离轴抛物面镜关键参数测量精度低的技术问题，本发明的所有过程均采用光学非接触式直接测量方式，精度高且不易划伤镜面，为离轴光学系统的后期精密装调提供了准确依据。

主权项

离轴抛物面镜的关键参数标定系统，其特征在于：包括第一光路、第二光路、第三光路、第四光路以及第五光路；所述第一光路包括激光干涉仪(10)、平面反射镜(7)、基准十字靶标(5)和离轴抛物面镜(6)，所述激光干涉仪(10)发出的汇聚光束焦点与离轴抛物面镜(6)焦点完全重合，所述激光干涉仪(10)发出的光束经过离轴抛物面镜(6)反射后垂直入射在平面反射镜(7)上并沿原路返回；所述基准十字靶标(5)放置在激光干涉仪(10)汇聚光束焦点和离轴抛物面镜(6)的原光轴的交汇处，基准十字靶标(5)与激光干涉仪(10)对猫眼；所述第二光路的结构为：在第一光路的基础上架设第一经纬仪(1)，第一经纬仪(1)与平面反射镜(7)自准直，并与基准十字靶标(5)穿心；所述第三光路的结构为：将第二光路中的平面反射镜(7)移除，并架设第四经纬仪(4)和带光栅尺(11)的导轨(12)，第四经纬仪(4)与第一经纬仪(1)打对镜，保证第四经纬仪(4)与第一经纬仪(1)的光轴垂直；带光栅尺(11)的导轨(12)与第一经纬仪(1)的光轴垂直；导轨(12)的滑块端面上粘贴一块小平面反射镜(13)，用第四经纬仪(4)监视小平面反射镜(13)的自准直反射像的运动轨迹来调整导轨(12)的位置，直至通过第四经纬仪(4)观察小平面反射镜(13)的自准直反射像的偏移量为零，固定导轨(12)的位置；第四光路的结构为：移除第三光路中小平面反射镜(13)，并在滑块上架设第二经纬仪(2)，使得第二经纬仪(2)与激光干涉仪(10)发出经离轴抛物面镜(6)反射后的平行光束自准直并与离轴抛物面镜(6)的中心和基准十字靶标(5)穿心；第五光路的结构为：移除第四光路中的激光干涉仪(10)，并在原位置放置第三经纬仪(3)，第三经纬仪(3)通过基准十字靶标(5)和离轴抛物面镜(6)与第二经纬仪(2)自准穿心。