[发明专利]靶材金相组织的显示方法在审
| 申请号： | 201510378233.X | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN106289924A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;胡淼锡 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材金相组织的显示方法，所述方法包括：提供钨靶材；从所述钨靶材中切取一部分作为试样；随所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；采用双氧水和氨水构成的浸蚀剂对所述试样的抛光面进行腐蚀处理；采用金相显微镜对所述试样进行金相观察。其中，双氧水和氨水构成的浸蚀剂反应平稳，腐蚀效果好，使腐蚀后的所述试样的晶界形貌清晰，从而使所述试样的金相组织具有良好的显示效果，便于采用金相显微镜对金相组织进行观察。 | ||
| 搜索关键词： | 金相 组织 显示 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材金相组织的显示方法，其特征在于，包括：提供钨靶材；从所述钨靶材中切取一部分作为试样；对所述试样进行表面处理，形成至少一抛光面；采用双氧水和氨水构成的浸蚀剂对所述试样的抛光面进行腐蚀处理；采用金相显微镜对所述试样进行金相观察。
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