[发明专利]速度变化测量装置及方法

摘要

提供一种提高表面速度的变化的测量精度的速度变化测量装置和速度变化测量方法，其具有使半导体激光器(1)振荡的激光驱动器(4)；计数部(7)，其对将半导体激光器(1)的输出转换成电信号的光电二极管(2)的输出中所包含干扰波形进行2值化的2值化信号的游程进行计数；根据计数部(7)的计数结果，对卷料(11)的表面速度的变化进行计算的运算部(8)。计数部(7)将干扰波形与取样时钟同步进行2值化，在各个基准期间和比较期间，对2值化信号的游程进行测量，就各个基准期间和比较期间制作游程的频数分布，根据频数分布，对各个基准期间和比较期间，求出阈值Th以上的游程的数的总和。

主权项

一种速度变化测量装置，其特征在于，包括：半导体激光器，其向测量对象的物体放射激光；振荡波长调制单元，其让所述半导体激光器动作，以使振荡波长连续地单调增加的第1振荡期间和振荡波长连续地单调减少的第2振荡期间交替地存在；检测单元，其对电信号进行检测，该电信号包含由于从所述半导体激光器放射的激光和来自所述物体的返回光的自混合效果而产生的干扰波形；2值化单元，其将该检测单元的输出信号中所包含的所述干扰波形与取样时钟同步地进行2值化；游程测量单元，其在各个基准期间和比较期间每当由所述2值化单元输出的2值化信号发生变化时，都对该2值化信号的游程进行测量；频数分布制作单元，其根据该游程测量单元的测量结果，对各个所述基准期间和所述比较期间制作所述游程的频数分布；计数单元，其根据该频数分布制作单元制作的频数分布，对各个所述基准期间和所述比较期间，求出阈值Th以上的游程的数量的总和；以及运算单元，其根据各个所述基准期间和所述比较期间中的所述计数单元的计数结果，求出所述比较期间中的所述物体的表面速度相对于所述基准期间中的所述物体的表面速度的变化。