[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201510386621.2 | 申请日: | 2015-07-03 |
公开(公告)号: | CN106328699B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 廖文甲 | 申请(专利权)人: | 台达电子工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/40 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;赵根喜 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体装置包含基板、主动层、源极、漏极、栅极、场板、第一保护层与金属层。主动层置于基板上。源极与漏极分别电性连接主动层。栅极置于源极与漏极之间,并置于主动层上方。场板置于主动层上方,且置于栅极与漏极之间。第一保护层覆盖栅极与场板。金属层置于第一保护层上,置于栅极与场板上方,且电性连接源极。本发明的半导体装置通过金属层以调整栅极‑源极电容(Cgs)。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,包含:一基板;一主动层,置于该基板上;一源极与一漏极,分别电性连接该主动层;一栅极,置于该源极与该漏极之间,并置于该主动层上方;一场板,置于该主动层上方,且置于该栅极与该漏极之间;一第一保护层,覆盖该栅极与该场板;以及一金属层,置于该第一保护层上,置于该栅极与该场板上方,且电性连接该源极。
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