[发明专利]一种稳定薄膜晶体管传感器性能的测试方法

摘要

本发明涉及电子器件技术领域，公开了一种稳定薄膜晶体管传感器性能的测试方法。本发明通过在薄膜晶体管结构的一类电子器件的栅极上施加极性交变的脉冲激励，以消除晶体管转移特性曲线中的迟滞现象。所施加的交变脉冲信号极性交替，这种正负电压激励，可以消除恒定极性栅极电压偏置下栅介质层或沟道敏感层的电荷积累，从而消除迟滞。当使用栅控晶体管结构的传感器时，通过这种交变脉冲激励方法，可以使得背景电流更加稳定，测量结果更加可靠，精确。

主权项

 一种稳定薄膜晶体管传感器性能的测试方法，其特征在于是在薄膜晶体管的栅极施加极性交替变化的电压脉冲信号，称之为交变脉冲，使器件不断工作于极性相反的一对栅极脉冲下，从而消除器件测量时的迟滞现象。