[发明专利]基于薄膜体声波谐振器的湿度传感器件有效
| 申请号： | 201510388314.8 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104990968B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 赵湛;张萌颖;杜利东;方震 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于薄膜体声波谐振器的湿度传感器件。该湿度传感器件包括支撑结构(10)；以及湿度测量结构(20)，形成于支撑结构(10)上。该湿度测量结构(20)包括底电极(21)，形成于支撑结构(10)上；湿度感测薄膜(22)，形成于底电极(21)上；以及顶电极(23)，形成于湿度敏感薄膜上，其上方分布多个微孔，以使湿度敏感薄膜(22)的部分区域与外界环境相连通；其中，底电极、湿度感测薄膜和顶电极构成谐振单元。本发明湿度传感器件在顶电极上分布微孔，环境气氛中的水分子通过微孔到达湿度敏感薄膜表面，器件对湿度的感应能力不会受到太大影响，同时不会增加声损耗，不增加噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 薄膜 声波 谐振器 湿度 传感 器件 | ||
【主权项】：
一种基于薄膜体声波谐振器的湿度传感器件，其特征在于，包括：支撑结构(10)；以及湿度测量结构(20)，形成于所述支撑结构(10)上，包括：底电极(21)，形成于所述支撑结构(10)上；湿度感测薄膜(22)，形成于底电极21上；以及顶电极(23)，形成于所述湿度敏感薄膜上，其上方分布多个呈阵列排布的，径向尺寸介于5μm～1mm之间的微孔，以使湿度敏感薄膜(22)的部分区域与外界环境相连通，且顶电极上微孔的总面积占整个顶电极面积的比例小于25％；其中，底电极(21)、湿度感测薄膜(22)和顶电极(23)构成谐振单元。
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