[发明专利]湿式喷砂装置以及湿式喷砂方法

摘要

本发明提供一种湿式喷砂装置以及喷砂方法，湿式喷砂装置包括浆料提供单元、连接浆料提供单元的浆料传递单元以及连接浆料传递单元的浆料输出单元。浆料输出单元具有沿第一方向延伸的条状开口。条状开口与待处理的基板沿不平行于第一方向的第二方向相对移动，且条状开口的长度大于或等于基板在第一方向上的最大长度。湿式喷砂方法可缩短传统湿式喷砂处理的时间，且湿式喷砂装置可改善传统因作用区域重叠而产生的斑马纹现象，从而提升喷砂处理的均匀性。

主权项

一种湿式喷砂装置，其特征在于，包括：浆料提供单元；浆料传递单元，连接所述浆料提供单元；以及浆料输出单元，连接所述浆料传递单元，所述浆料输出单元具有条状开口，所述条状开口沿第一方向延伸，其中所述条状开口与待处理的基板沿第二方向相对移动，所述第二方向不平行于所述第一方向，且所述条状开口的长度大于或等于所述基板在所述第一方向上的最大长度。