[发明专利]一种六轴一体式微加速度传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201510390863.9 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN105021846B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 杨川;夏勇;孙文涛 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六轴一体式微加速度传感器及其制作方法，通过键合连接在一起的上、下盖板、感测芯片。所述感测芯片包括从固定外框对角线引出四根梁与中间的“小岛”相连，使得外框架中间“小岛”、外框架对角线上的梁、外框架成为一个整体—固定框架，每个惯性感测单元由惯性质量块、结构支撑梁、敏感微梁组成，所述每个惯性质量块成梯形，且其上底边中间部分有延伸向下底边的结构支撑梁；结构支撑梁的两侧，有敏感微梁将梯形惯性质量块的上底边与固定框架中间“小岛”相连。敏感微梁由于结构微小的特点，在敏感芯片加载时将会集中主要的应力，且易形成直拉直压的简单应力状态，非常有利于轴间解耦。本发明，结构简单紧凑、易加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体 式微 加速度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种六轴一体式微加速度传感器，其特征在于：它包括通过键合连接在一起的敏感芯片(3)、上盖板(1)以及下盖板(2)三部分，所述敏感芯片(3)是由四个传感单元组成，每个传感单元包括结构支撑梁(4)、敏感微梁(5)、惯性质量块(6)以及固定框架(7)，所述每个惯性质量块(6)由一根结构支撑梁(4)和两根敏感微梁(5)与固定框架(7)中间岛部分相连，组成悬臂梁—质量块系统，所述两根敏感微梁(5)以结构支撑梁(4)为中心对称分布，连接惯性质量块(6)与固定框架(7)中间岛之间，所述每个敏感微梁(5)上均有一个掺杂敏感电阻(9)用以构成惠斯通电桥进行六轴向运动间的感测与解耦。
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