[发明专利]一种带锥角开口掩模板的制作方法在审
| 申请号： | 201510392405.9 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN104988458A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带锥角开口掩模板的制作方法，包括：S1、基板刻蚀：通过蚀刻在基板上特定区域形成一定深度的凹槽；S2、电铸成型：在基板上蚀刻的凹槽底部电铸形成一定厚度的掩模板；所述电铸成型的掩膜板厚度小于所述基板蚀刻的凹槽深度。通过本发明提供的方法制作的掩模板具有呈锥角的开口，且通过电铸成型的掩模板开口具有较好的尺寸精度，其能够较好的满足掩模板在蒸镀过程中的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带锥角 开口 模板 制作方法 | ||
【主权项】：
一种带锥角开口掩模板的制作方法，包括：S1、基板刻蚀：通过蚀刻在基板上特定区域形成一定深度的凹槽；S2、电铸成型：在基板上蚀刻的凹槽底部电铸形成一定厚度的掩模板；其特征在于，所述电铸成型的掩模板厚度小于所述基板蚀刻的凹槽深度。
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