[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201510394188.7 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN105316628B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 佐藤贵康;佐藤羊治;橘和孝 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 蔡胜有,冷永华 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种成膜装置，其包括筒状蒸发源(1)、封闭构件(2A，2B)和辅助电极(3)。筒状蒸发源(1)配置为将工件(W)容纳在蒸发源(1)的内部空间中。筒状蒸发源(1)配置为通过电弧放电从筒状蒸发源(1)释放离子以便所述离子沉积在工件(W)的表面上。封闭构件(2A，2B)封闭所述内部空间。辅助电极(3)沿着筒状蒸发源(1)的内壁表面设置。辅助电极(3)配置为接地或是被施加以正电压以便所述内部空间的电子流向辅助电极(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，包括：筒状蒸发源(1)，其配置为将工件(W)容纳在所述筒状蒸发源(1)的内部空间中，所述筒状蒸发源(1)配置为通过电弧放电从所述筒状蒸发源(1)释放离子以便所述离子沉积在所述工件(W)的表面上；封闭构件(2A,2B)，其配置为封闭所述内部空间；和辅助电极(3)，其沿着所述筒状蒸发源(1)的内壁表面设置，所述辅助电极(3)配置为接地或是被施加以正电压以便所述内部空间的电子流向所述辅助电极(3)。
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