[发明专利]一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置

摘要

本发明公开了一种液滴阵列产生装置，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列。该装置能够应用于一系列需要提供高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列的系统中，例如在极紫外光源系统中对光源激发所产生的碎屑进行收集，降低碎屑对腔内其他系统表面的污染和损坏，并同时具有较高的碎屑收集效率及有较好的光源光谱透过率。

主权项

一种液滴阵列产生装置，其特征在于，包括：转鼓，用于接收液料，所述转鼓为一端开口的圆筒状结构，且在贴近其底面的侧壁上开有一个小孔；旋转驱动机构，设于所述转鼓之下，用于带动所述转鼓绕其中心轴转动；外壳，为一端开口的圆筒状结构，同轴套设于所述转鼓的外侧，且在侧壁上开有一个条带状开口，所述条带状开口与所述转鼓侧壁上的小孔在同一水平位置上，其中，金属液滴从转鼓外壁开口后出射后，在外壳条带状开口范围内的金属液滴穿过外壳条带状开口从整个装置内出射，成为金属液滴阵列的一部分。