[发明专利]一种阴极电弧源

摘要

本发明所提供的阴极电弧源，包括阴极底座，所述阴极底座的内侧壁上螺纹连接有永磁块，外侧壁上通过螺丝固定有法兰板，且所述法兰板在阴极底座的外侧接装有阳极筒，其中所述阴极底座与法兰板、以及阳极筒之间相互绝缘设置；所述阳极筒在背离所述法兰板的一侧装配有连接柱，并通过该连接柱接装有阳极罩；所述阴极底座上开设有水冷内腔，并在该水冷内腔的顶壁上通过卡环连接件卡接有靶材，且所述靶材贴合于阴极底座中水冷内腔的顶壁设置；所述顶壁设为具有弹性的隔膜板，并可在水冷内腔水压的作用下发生形变以贴合靶材。本发明确保了该阴极电弧源在使用过程中对靶材的充分冷却；同时也便于对靶材的更换，提高工作效率。

主权项

一种阴极电弧源，包括阴极底座，所述阴极底座的内侧壁上螺纹连接有永磁块，外侧壁上通过螺丝固定有法兰板，且所述法兰板在阴极底座的外侧接装有阳极筒，其中所述阴极底座与法兰板、以及阳极筒之间相互绝缘设置；所述阳极筒在背离所述法兰板的一侧装配有连接柱，并通过该连接柱接装有阳极罩；其特征在于：所述阴极底座上开设有水冷内腔，并在该水冷内腔的顶壁上通过卡环连接件卡接有靶材，且所述靶材贴合于阴极底座中水冷内腔的顶壁设置；所述顶壁设为具有弹性的隔膜板，并可在水冷内腔水压的作用下发生形变以贴合靶材；所述卡环连接件包括靶材卡环公扣与靶材卡环母扣，其中所述靶材卡环母扣通过连接螺钉固定在阴极底座上，并与阴极底座相导通；所述靶材卡环公扣与靶材卡接连接，且与靶材卡环母扣相匹配，以将靶材贴合在所述阴极底座中水冷内腔的隔膜板上。