[发明专利]一种用于CVD沉积车床的旋转密封装置在审
| 申请号： | 201510397255.0 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN104944760A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张金燕;李家乐;曲勇军;皮亚斌;廉正刚;戈琛;魏红波 | 申请（专利权）人： | 武汉长盈通光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于CVD沉积车床的旋转密封装置，该装置包括旋转体、密封端盖、尾端密封体、端封、第一锁紧件、第二锁紧件，进料气管通过尾端密封体、第一锁紧件固定在端封上，尾端密封体、第一锁紧件、端封对进料气管进行静态密封，预制棒沉积衬管与进料气管通过旋转体连接密封，预制棒沉积衬管通过第二锁紧件、密封端盖固定在旋转体上，端封与旋转体之间通过密封体件、支撑件实现预制棒沉积衬管的旋转密封以及进料气管的静态密封。该旋转密封装置便于安装和拆卸、安装质量好，并且使用性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 cvd 沉积 车床 旋转 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种用于CVD沉积车床的旋转密封装置，其特征在于，该装置包括旋转体、密封端盖、尾端密封体、端封、第一锁紧件、第二锁紧件，进料气管通过尾端密封体、第一锁紧件固定在端封上，尾端密封体、第一锁紧件、端封对进料气管进行静态密封，预制棒沉积衬管与进料气管通过旋转体连接密封，预制棒沉积衬管通过第二锁紧件、密封端盖固定在旋转体上，端封与旋转体之间通过密封体件、支撑件实现预制棒沉积衬管的旋转密封以及进料气管的静态密封。
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