[发明专利]一种蚀刻辅助的微细超声加工装置及方法

摘要

本发明公开一种蚀刻辅助的微细超声加工装置及加工方法，所述微细超声加工装置通过蚀刻液的辅助实施微细超声加工，所述蚀刻液混合磨粒后，浸泡工件或喷淋工件实施蚀刻辅助的微细超声加工；微细超声的振动加工在工件表面形成微裂纹，而蚀刻液可以快速有效的进入微裂纹中，进一步扩大裂纹间隙，有助于微细超声的去除加工；加工效率的提高，缩短了开口上下面接触蚀刻液的时间，相应的减少了侧蚀量；另外将微细超声和蚀刻结合在一起，超声可以引导蚀刻液的流向，进一步有助于保证加工成型的精度。

主权项

一种蚀刻辅助的微细超声加工装置，其特征在于，所述微细超声加工装置通过蚀刻液的辅助实施微细超声加工，所述微细超声加工装置包括立式滑台、超声主轴、夹头、工具头、工作台、超声电源、工作槽、蚀刻液，所述工具头通过夹头固定在超声主轴上，超声主轴固定在立式滑台上，所述的立式滑台驱动超声主轴上下运动，所述的超声电源与超声主轴相连；所述工作槽固定在工作台上，所述超声主轴包括前匹配块、压电陶瓷片与后匹配块，通过调节螺栓将前匹配块、压电陶瓷片与后匹配块连接；所述蚀刻液混合磨粒后，浸泡工件或喷淋工件；所述蚀刻液由以下质量百分含量的组分组成：氯化铁5～15％、酸3～5％、苯并三唑2～4％、乙二胺1～2％、十二烷基磺酸钠2～3％，余量为水；所述苯并三唑和乙二胺的质量和与十二烷基磺酸钠的质量比为(苯并三唑+乙二胺)：十二烷基磺酸钠＝(1～2):1，且苯并三唑与乙二胺的质量比为2:1；所述酸由高氯酸、次氯酸和磺酸组成，所述酸中高氯酸、次氯酸和磺酸的质量比为(1～2)：(7～12)：(18～25)。