[发明专利]波前传感器及波前测量方法

摘要

一种波前传感器及波前测量方法，其特征在于，该波前传感器包括二维随机编码混合光栅、探测器，二维随机编码混合光栅由随机编码振幅光栅和棋盘式位相光栅组成，优化了随机编码振幅光栅的像素尺寸，降低了加工难度，同时不影响波前测量精度。

主权项

一种波前传感器，其特征在于，包括二维随机编码混合光栅(101)和探测器(102)，所述的二维随机编码混合光栅(101)位于探测器(102)的前方；所述的二维随机编码混合光栅(101)是x、y方向周期相同的二维光栅，由周期为T/2的随机编码振幅光栅(1011)和周期为T的棋盘式位相光栅(1012)组成；二维随机编码混合光栅(101)的周期为T；棋盘式位相光栅(1012)的中心波长为λ0，占空比为50％，相邻的位相单元在中心波长处的相位变化量为π；所述的随机编码振幅光栅(1011)是透射率被量化的振幅光栅，首先，将每个周期分为N×N个子网格，再将子网格细分为M×M个像素，所述的N为不小于5的正整数，M＝2，像素值为1表示透光，像素值为0表示不透光，每个子网格的透射率为子网格内所有像素值之和，子网格中透光的像素个数为：F(x,y)=round{M2·sin[2πT·floor(xT/N)·TN]·sin[2πT·floor(yT/N)·TN]}]]>其中，(x,y)表示坐标点，函数round表示四舍五入运算，函数floor表示向下取整数运算；该子网格内F(x,y)个像素透光，其余像素不透光，透光像素的位置随机指定；透射率量化后的随机编码振幅光栅(1011)的归一化振幅强度采用下列公式表示：t(x,y)=F(x,y)M2.]]>