[发明专利]靶材组合的清洗方法在审
| 申请号： | 201510401642.7 | 申请日： | 2015-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106334686A | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李健成 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B1/00;B08B3/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 吴圳添,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材组合的清洗方法，包括提供溅射后的靶材组合，所述靶材组合包括残留靶材和背板，所述残留靶材的焊接面与所述背板正面的中央区域焊接在一起，所述背板正面的周边区域暴露在外，所述背板正面的周边区域和侧面在溅射过程中附着有氧化铝；对所述背板进行第一清洗处理，所述第一清洗处理包括采用氢氧化钠溶液清洗所述背板正面的周边区域和所述背板侧面；在所述第一清洗处理后，对所述靶材组合进行第二清洗处理，所述第二清洗处理包括对所述靶材组合进行冲洗。所述清洗方法能够对靶材组合的背板进行充分清洗，使得背板满足后续喷砂工艺的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组合的清洗方法，其特征在于，包括：提供溅射后的靶材组合，所述靶材组合包括残留靶材和背板，所述残留靶材的焊接面与所述背板正面的中央区域焊接在一起，所述背板正面的周边区域暴露在外，所述背板正面的周边区域和侧面在溅射过程中附着有氧化铝；对所述背板进行第一清洗处理，所述第一清洗处理包括采用氢氧化钠溶液清洗所述背板正面的周边区域和所述背板侧面；在所述第一清洗处理后，对所述靶材组合进行第二清洗处理，所述第二清洗处理包括对所述靶材组合进行冲洗。
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