[发明专利]基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液在审
| 申请号： | 201510403859.1 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104962999A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 廖明墩;叶继春;高平奇;应智琴;韩灿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郭晓华 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理；c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片制绒品以及硅片制绒预处理液。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金刚 切割 硅片 方法 制绒品 预处理 | ||
【主权项】：
一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液，所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理；c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。
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