[发明专利]校准扫描透射带电粒子显微镜的方法有效
| 申请号： | 201510403896.2 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105261544B | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | M.T.奥特坦;A.A.M.科克;M.维海詹 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 申屠伟进,陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，显微镜能够被操作于非扫描模式，在此模式，射束相对较粗并且检测器在不调用扫描装置的情况下形成图像；或扫描模式，在此模式，所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像，方法包括下面的步骤在标本支架上提供校准标本；在非扫描模式下，使用成像系统的给定配置，使用所述检测器形成校准标本的校准图像；使用所述校准标本的已知尺度并且将它与所述校准图像中的对应尺度进行比较以校准所述检测器的视场的特性尺度；在扫描模式下，在所述检测器的经校准的视场中记录所述射束的射束图案，并且检查所记录的射束图案以获得其几何方面。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 扫描 透射 带电 粒子 显微镜 方法 | ||
【主权项】：
一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，所述扫描透射带电粒子显微镜包括：标本支架，用于支撑标本；源，用于产生带电粒子的射束；照明器，用于引导所述射束以照射标本；成像系统，用于将穿越标本的带电粒子引导到检测器上；扫描装置，用于使所述射束相对于标本的表面经受扫描运动，所述显微镜能够被操作于：非扫描模式，在该模式，所述射束相对较粗并且所述检测器在不调用所述扫描装置的情况下形成图像；或扫描模式，在该模式，所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像，所述校准方法包括：在所述标本支架上提供校准标本；在非扫描模式下，使用所述成像系统的给定配置，使用所述检测器形成校准标本的校准图像；使用所述校准标本的已知尺度并且将它与所述校准图像中的对应尺度进行比较以校准所述检测器的视场的特性尺度；在扫描模式下，在所述检测器的经校准的视场中记录所述射束的射束图案，并且检查所记录的射束图案以获得其几何参数。
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