[发明专利]毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510404629.7 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN106338634B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 杨青;陈烽;柳克银;孟祥卫;山超 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R3/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 张倩 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法，通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内，实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过飞秒激光技术制备石英内部的三维复杂微流道，通过高温金属注入固化技术制备电流传感器传感结构，并结合电极封装工艺完成电流传感器的制备。本发明的制备方法可加工具有复杂结构的电磁传感微器件，本发明提出的具有微型化结构的洛高夫斯基电流传感器可实现数兆赫兹到百G赫兹的交流电信号的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 毫米 超高频 宽带 电流传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种毫米级超高频超宽带电流传感器，包括洛高夫斯基线圈、用于加载待测电流信号的金属线、与洛高夫斯基线圈导通的两个电极，其特征在于：还包括石英玻璃、封装基底；所述石英玻璃与封装基底对准并键合；所述洛高夫斯基线圈通过飞秒激光制备技术被封装在石英玻璃内，其两端部露出石英玻璃的键合面；所述石英玻璃上设置有石英中心引线通孔，所述石英中心引线通孔与洛高夫斯基线圈中心正对，所述封装基底上设置有基底中心引线通孔，所述基底中心引线通孔与洛高夫斯基线圈中心正对；所述金属线依次穿过石英中心引线通孔与基底中心引线通孔；所述两个电极设置在封装基底内且与洛高夫斯基线圈的两端部分别导通。
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