[发明专利]涂布装置及清洗方法有效
| 申请号： | 201510405949.4 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN106179871B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 时枝大佐 | 申请（专利权）人： | 斯克林集团公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10;B05B15/50 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布装置及清洗方法，可利用粘度低于被涂布材料的淋洗液，对附着于供给配管的内壁的被涂布材料有效率地进行清洗。所述涂布装置(1)包括喷出流体的喷嘴(20)、以及向喷嘴(20)选择性地供给被涂布材料及淋洗液的供给机构(60)。供给机构(60)包括与喷嘴(20)连接的供给配管(68、70)，以及设置于供给配管(68、70)的路径上的开关阀(71、72)。控制部(50)在从供给机构(60)向喷嘴(20)供给淋洗液时，使开关阀(71、72)开关。于是，在供给配管(68、70)内，淋洗液的流速发生变化。由此，可对附着于供给配管(68、70)的内壁上的被涂布材料有效率地进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，将作为流体的被涂布材料涂布于成为处理对象的面上，所述涂布装置包括：喷嘴，包含喷出流体的喷出口；供给机构，向所述喷嘴选择性地供给所述被涂布材料及淋洗液，所述淋洗液是粘度低于所述被涂布材料的流体；以及控制部，对所述供给机构进行控制，并且所述供给机构包括：供给配管，与所述喷嘴连接；以及流速切换元件，在所述供给配管内使流体的速度发生变化，在通过所述淋洗液清洗所述供给配管及所述喷嘴的清洗处理中，所述控制部一边由所述供给机构继续供给所述淋洗液，一边使所述流速切换元件动作而使所述淋洗液的速度发生变化。
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