[发明专利]一种表面3D检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201510406138.6 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN106323163B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王帆;张鹏黎 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种表面3D检测装置及检测方法，该装置依次包括照明单元、偏振分束单元、多路光分束单元、多个相移板及探测器；照明单元产生的光束经偏振分束单元形成探测光束和参考光束；重合后的探测光束和参考光束分别经多路光分束单元分离为多路分支，每路分支对应一个相移板，使偏振方向相互垂直的探测光束和参考光束产生额外的相位差，之后再经过偏振合束器，使探测光束和参考光束具有相同偏振方向，从而在探测器表面产生干涉信号；每路分支中的相移板产生的额外的相位差不同。本发明不需要进行垂向扫描，可瞬间获取测量点的多个干涉信号，从而计算出视场内待测样品表面的高度信息，配合运动台的扫描，可快速实现大尺寸待测样品的表面3D检测。 | ||
| 搜索关键词： | 参考光束 探测光束 相移板 多路 偏振分束单元 待测样品 分束单元 干涉信号 照明单元 相位差 偏振 扫描 偏振合束器 探测器表面 高度信息 配合运动 测量点 垂直的 检测 重合 探测器 垂向 | ||
【主权项】：
1.一种表面3D检测装置，其特征在于，沿光束传播方向依次包括照明单元、偏振分束单元、多路光分束单元、多个相移板以及探测器；所述照明单元产生的光束经所述偏振分束单元形成探测光束和参考光束；所述探测光束入射至待测样品表面后反射后再次进入所述偏振分束单元；所述参考光束入射至第二反射镜，经所述第二反射镜表面反射后再次进入所述偏振分束单元，并与经所述待测样品表面反射的探测光束重合；重合后的探测光束和参考光束分别经所述多路光分束单元分离为多路分支，每路分支对应一个相移板，使偏振方向相互垂直的探测光束和参考光束产生额外的相位差，之后再经过偏振合束器，使探测光束和参考光束具有相同偏振方向，从而在所述探测器表面产生干涉信号；所述每路分支中的相移板产生的额外的相位差不同。
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