[发明专利]基于标准压力测量的电离真空计和质谱计校准装置及方法有效
| 申请号： | 201510406240.6 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105004479B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李得天;成永军;冯焱;董猛;赵澜;孙雯君;习振华;袁征难;李莉 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 李微微,仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准装置及方法，其中的校准装置，仅采用上游室、校准室、标样气体瓶、抽真空系统、插板阀以及真空计和质谱计，即可完成真空计与质谱计的校准，且校准范围可达到(10‑2～10‑9)Pa，相比于现有的校准装置，本发明的校准装置结构简单，可对各种类型的电离真空计和质谱计进行现场在线校准；采用带有限流圆形小孔的插板阀在开关两种状态下，通过确定两种情况下校准室的有效抽速来校准电离真空计和质谱计，从而将校准下限延伸至10‑9Pa；采用固定流导元件在分子流条件下将已知气体流量的校准气体引入到校准室校准电离真空计和质谱计，压力校准范围宽，测量不确定度小。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 标准 压力 测量 电离 真空计 质谱计 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准装置，其特征在于，包括标样气体瓶(1)、抽气机组(2)、微调阀(3)、上游室(4)、电容薄膜真空计(5)、第一截止阀(6)、固定流导元件(7)、校准室(8)、干泵(9)、无油双涡轮分子泵抽气机组(10)、插板阀(11)、电离真空计(12)、第二截止阀(13)以及质谱计(14)；所述标样气体瓶(1)的出气口与上游室(4)的进气口之间串接微调阀(3)，上游室(4)通过第一截止阀(6)与抽气机组(2)的抽气通道连接；上游室(4)还设置电容薄膜真空计(5)；上游室(4)通过固定流导元件(7)与校准室(8)联通；所述无油双涡轮分子泵抽气机组(10)与干泵(9)串联后通过连接管道对校准室(8)抽气，校准室(8)与无油双涡轮分子泵抽气机组(10)的连接管道上安装带有限流小孔的插板阀(11)；所述校准室(8)上设置有电离真空计(12)，并通过第二截止阀(13)连接质谱计(14)。
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