[发明专利]一种探针测试设备有效
| 申请号： | 201510406279.8 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN105093088B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 薛静;于洪俊;朱红 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/20;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针测试设备，涉及显示测试领域，能够解决由于探针和待测物接触的压力大小无法精确控制，导致的测试精度低的问题。该探针测试设备，包括基台、第一导向部件、底座、设置于基台和底座之间的弹性部件，以及与弹性部件相连接的压力传感器；第一导向部件位于所述基台上，且与底座相连接，在第一导向部件的导向作用下，底座沿第一方向运动；探针连杆安装于底座上；在底座沿第一方向靠近基台运动时，弹性部件被压缩；第一方向与基台的承载面垂直。用于TFT性能的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 测试 设备 | ||
【主权项】：
一种探针测试设备，包括探针以及与所述探针相连接的探针连杆，其特征在于，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于所述基台和所述底座之间的弹性部件，以及与所述弹性部件相连接的压力传感器；所述第一导向部件位于所述基台上，且与所述底座相连接，在所述第一导向部件的导向作用下，所述底座沿第一方向运动；所述探针连杆安装于所述底座上；在所述底座沿所述第一方向靠近所述基台运动时，所述弹性部件被压缩；所述第一方向与所述基台的承载面垂直；所述探针的一端设置有第一接头，所述探针连杆的一端设置有与所述第一接头相卡合的第二接头，且所述第一接头与所述第二接头的截面形状为非圆形的形状；所述探针连杆安装于所述底座的承载面上，所述底座的承载面与待测试表面之间具有预设夹角α，且0°＜α＜90°。
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