[发明专利]一种LED外延结构的制作方法有效
| 申请号： | 201510407288.9 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN105070793B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张洁;朱学亮;刘建明;杜彦浩;杜成孝;徐宸科 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361009 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种LED外延结构的制作方法，通过外延制程原位形成凹洞，再在凹洞中填满电流阻挡介质层，从而构成电流扩展层，具有电流扩展效果，可以有效提高电子或空穴电流均匀性，提高发光亮度及降低工作电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 外延 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种LED外延结构的制作方法，包括以下工艺步骤：提供一基板；在所述基板之上形成第一外延层；在所述第一外延层之上通过外延制程形成第一凹洞；在所述第一凹洞中通过外延制程填满第一电流阻挡介质层，所述电流阻挡介质层的材料为低浓度掺杂或者不掺杂的InAlGaN；在所述第一凹洞与第一电流阻挡介质层之上形成第二外延层。
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