[发明专利]一种包括尾气回收精馏处理的三氯氢硅精馏工艺

摘要

本发明涉及三氯氢硅的精馏工艺，具体的说是一种包括尾气回收精馏处理的三氯氢硅精馏工艺，本发明是将进料液依次经过两个筛板精馏塔精馏成品，再将尾气合并依次经过尾气预处理装置、两个尾气筛板精馏塔，进行尾气回收精馏操作，最后得到高纯度三氯氢硅产品与四氯化硅粗品。本发明能提高以前工艺流程不能除去的微量杂质的去除能力，在提高产品纯度上有显著提高，分离效果更好，达到多晶硅厂家的要求。

主权项

一种包括尾气回收精馏处理的三氯氢硅精馏工艺，其特征在于，包括以下工艺步骤：a、将进料液从第一精馏塔中部进料，将沸点比三氯氢硅低的组分富集到塔顶流出，将塔底物料进入到第二精馏塔中部；第一精馏塔进料温度为40‑45℃，塔顶温度为15‑16℃，塔底再沸器温度控制在53‑58℃；第一精馏塔塔板数为45，回流比为4.5‑7.5；b、在第二精馏塔中，将沸点比三氯氢硅高的组分富集到塔底流出，塔顶收集得到高纯三氯氢硅产品；第二精馏塔塔顶温度42‑43℃，塔底再沸温器度控制在70‑74℃；第二精馏塔塔板数为40，回流比为1.5‑2.5；c、将第一精馏塔塔顶与第二精馏塔塔底流出的尾气组分合并，通过尾气预处理装置，进入尾气第一精馏塔；d、尾气进入尾气第一精馏塔中部，将塔底物料进入到尾气第二精馏塔中部；第一精馏塔塔顶温度为15‑17℃，塔底再沸器温度控制在50‑58℃；第一精馏塔塔板数为45，回流比为4.5‑7.5；e、在尾气第二精馏塔中，塔顶收集得到高纯三氯氢硅产品，塔底收集得到四氯化硅粗品；第二精馏塔塔顶温度38‑40℃，塔底再沸器温度控制在74‑75℃；第二精馏塔塔板数为40，回流比为1.5‑2.0；所述c步骤中的尾气预处理装置包括依次管道连接的除尘器、缓冲罐、压缩机、冷却器、加热器；所述除尘器与缓冲罐之间还设有过滤器；所述尾气第二精馏塔塔顶收集的高纯三氯氢硅产品中三氯氢硅质量分数大于99.7％，四氯化硅质量分数小于0.02％；所述尾气第二精馏塔底收集得到的四氯化硅粗品中四氯化硅质量分数大于92％，三氯氢硅质量分数小于0.1％。