[发明专利]多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置及垂向气压补偿方法有效
| 申请号： | 201510409194.5 | 申请日： | 2015-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN104908981B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘杨;李理;付振宪 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B64G7/00 | 分类号： | B64G7/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置及垂向气压补偿方法，属于全物理仿真领域，本发明为解决现有多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置需要多个比例的电磁阀，结构复杂，垂向气压补偿方法控制精度较低的问题。本发明的气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套，气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里，气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂向运动；气浮轴承内套上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套内侧壁上安装有多个喷嘴；气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器；喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间；气浮轴承外套内部沿垂向设置有测量气浮轴承内套垂向位移的光栅尺；本发明用于全物理仿真试验。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 平台 气压 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置，其特征在于，它包括气浮轴，气浮轴包括气浮轴承外套(1)和气浮轴承内套(2)，气浮轴承内套(2)安装在气浮轴承外套(1)中空的气腔里，且气浮轴承内套(2)沿气浮轴承外套(1)内侧壁作垂向运动；气浮轴承内套(2)的上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套(1)的内侧壁上安装有多个喷嘴(3)；气浮轴承外套(1)的内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器(5)；且喷嘴(3)和压力传感器(5)位于气浮轴承内套(2)下端与气浮轴承外套(1)下端之间；气浮轴承外套(1)内部沿垂向设置有测量气浮轴承内套(2)垂向位移的光栅尺(4)；该垂向气压补偿装置还包括气瓶(6)、一级减压阀(7)、二级减压阀(8)和开关阀(9)，气瓶(6)的气体输出端连接一级减压阀(7)的气体输入端，一级减压阀(7)的气体输出端连接二级减压阀(8)的气体输入端，二级减压阀(8)的气体输出端连接开关阀(9)的气体输入端，开关阀(9)的气体输出端同时连接多个喷嘴(3)。
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