[发明专利]靶材热处理方法

摘要

一种靶材热处理方法，包括：提供靶材，所述靶材待达到预定工艺温度；提供砂子，预热所述砂子到初始温度，所述初始温度比所述预定工艺温度至少低100摄氏度；将所述靶材埋入具有初始温度的砂子中；升温埋有靶材的所述砂子到预定工艺温度，对所述靶材进行热处理。采用所述靶材热处理方法提高了热处理后靶材的性能。

主权项

1.一种靶材热处理方法，其特征在于，包括：提供靶材，所述靶材待达到预定工艺温度，所述靶材的数量为两个以上，所述靶材为铜靶材或钛靶材，当所述靶材为铜靶材时，所述预定工艺温度为250摄氏度～350摄氏度，当所述靶材为钛靶材时，所述预定工艺温度为350摄氏度～500摄氏度；提供砂子，所述砂子的材料为碳化硅、氧化硅或石英砂，所述砂子的规格为45号、60号、70号、80号或90号，预热所述砂子到初始温度，所述初始温度比所述预定工艺温度至少低100摄氏度，当所述靶材为铜靶材时，所述初始温度为100摄氏度～250摄氏度，所述靶材的体积与所述砂子的体积比为4:5～4:7，当所述靶材为钛靶材时，所述初始温度为200摄氏度～400摄氏度，所述靶材的体积与所述砂子的体积比为4:5～4:9；将所述靶材埋入具有初始温度的砂子中，各个靶材水平放置于砂子中，各个靶材分立且层叠放置于砂子中，相邻靶材之间的垂直间距大于等于2mm，或者，各个靶材水平放置于砂子中，各个靶材分立且处于同一个水平面，相邻靶材之间的距离大于等于5mm；将所述靶材埋入具有初始温度的砂子中后，进行第一保温，使所述靶材达到初始温度，当所述靶材为铜靶材，所述第一保温时间为30min～120min，当所述靶材为钛靶材，所述第一保温时间为30min～120min；进行第一保温后，升温埋有靶材的所述砂子到预定工艺温度并在预定工艺温度下对所述靶材进行第二保温，对所述靶材进行热处理，当所述靶材为铜靶材时，在将所述靶材从初始温度升温至预定工艺温度的过程中，所述砂子的升温速率为3摄氏度/分钟～10摄氏度/分钟，所述第二保温的时间为1小时～3小时，当所述靶材为钛靶材时，在将所述靶材从初始温度升温至预定工艺温度的过程中，所述砂子的升温速率为5摄氏度/分钟～12摄氏度/分钟，所述第二保温的时间为1小时～3小时。