[发明专利]一种真空计快速动态真空校准方法

摘要

本发明公开了一种真空计快速动态真空校准方法，能够实现响应时间为ms级的真空计快速动态校准。本发明将采用静态膨胀法的真空校准装置中的上游室和下游室之间的真空阀门替换为超高真空插板阀；将被校真空计连接至上游室；根据被校真空计响应时间确定是否安装以及安装何种流导参数的限流元件；开始校准后，向上游室充入校准气体，直至达到初始压力；打开超高真空插板阀，开始气体快速膨胀过程，采集被校真空计的示值；依据公式pstd＝p10exp(‑t/τ)计算动态真空校准标准压力pstd，绘制出pstd随时间t变化的动态真空校准标准压力曲线，并填入被校真空计的示值，获得校准结果。

主权项

一种真空计动态真空校准方法，其特征在于，将采用静态膨胀法的真空校准装置中的上游室(5)和下游室(16)之间的真空阀门替换为超高真空插板阀(9)，形成动态真空校准装置；该方法具体包括如下步骤：步骤一、将被校真空计(7)连接至所述动态真空校准装置中的上游室(5)；根据被校真空计(7)响应时间确定是否安装以及安装何种流导参数的限流元件(4)；被校真空计(7)的响应时间越长，选用的限流元件(4)的流导越小；不安装限流元件时，能够获得最短建立时间的标准压力；步骤二、通过抽气机组连续抽气上游室(5)、下游室(16)至所需本底压力；打开动态真空校准装置中的被校真空计(7)和各测量用真空计，进行稳定和调零；步骤三、关闭超高真空插板阀(9)，向上游室(5)充入校准气体，直至达到初始压力p10；p10为被校真空计(7)动态校准范围的上限值；步骤四、打开超高真空插板阀(9)，开始快速膨胀的动态真空校准过程，利用数据采集系统采集被校真空计(7)的示值以及上游室(5)和下游室(16)的真空度，当下游室(16)的真空度达到p10·α时，完成校准，其中α为上游室(5)与下游室(16)的容积比；步骤五、依据公式(1)计算动态真空校准标准压力pstd，绘制出pstd随时间t变化的动态真空校准标准压力曲线；pstd＝p10exp(‑t/τ)   (1)式(1)中，τ为时间常数：τ=V1C(t)---(2)]]>式(2)中，V1为上游室(5)容积；当连接有限流元件时，C(t)为t时刻相应流动状态下对应的超高真空插板阀(9)和限流元件(4)串联真空流导，当未连接限流元件时，C(t)为t时刻相应流动状态下对应的超高真空插板阀(9)的真空流导；该C(t)是预先通过试验获得的；步骤六、将步骤四采集的被校真空计(7)的示值，按照时间t绘制到动态真空校准标准压力曲线中，得到被校真空计与标准压力之间的偏差，即校准结果。