[发明专利]一种用于低阶像差测量的大量程波前探测装置有效
申请号: | 201510412125.X | 申请日: | 2015-07-14 |
公开(公告)号: | CN105004511B | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 周琼;刘文广;闫宝珠;杨轶;张烜喆;杜少军;姜宗福 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 国防科技大学专利服务中心43202 | 代理人: | 郭敏 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种可用于低阶像差测量的大量程波前探测装置,目的是提供一种可对高功率激光系统中存在的离焦和像散等低阶像差实现快速地准确测量的波前探测装置,本发明由六孔光阑、六个缩束聚焦透镜组和六个位置灵敏探测器安装在固定支架上组成;六孔光阑垂直置于六个缩束聚焦透镜组的正前方,且六个圆孔分别与六个缩束聚焦透镜组保持圆心同轴关系,六个缩束聚焦透镜组的轴线相互平行,六个位置灵敏探测器与六个缩束聚焦透镜组保持一一对应的同轴关系。本发明可实现精度较高且快速的大量程低阶像差测量,为提高高功率激光系统的光学性能提供了技术保障。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 低阶 测量 量程 探测 装置 | ||
【主权项】:
一种用于低阶像差测量的大量程波前探测装置,其特征在于可用于低阶像差测量的大量程波前探测装置由六孔光阑(1)、六个缩束聚焦透镜组(2)和六个位置灵敏探测器(3)三大部分组成;六孔光阑(1)垂直置于六个缩束聚焦透镜组(2)的正前方即入射光的正入射方向,且使六个圆孔分别与六个缩束聚焦透镜组(2)保持圆心同轴关系,六个缩束聚焦透镜组(2)的轴线相互平行,六个位置灵敏探测器(3)与六个缩束聚焦透镜组保持一一对应的同轴关系,即每个位置灵敏探测器(3)均与其相对应的缩束聚焦透镜组(2)同轴,并分别置于各个缩束聚焦透镜组(2)的焦平面处,精调各位置灵敏探测器(3)的位置与倾斜,使得六个位置灵敏探测器(3)的输出电压均为0,六孔光阑(1)、六个缩束聚焦透镜组(2)和六个位置灵敏探测器(3)均安装在固定支架(4)上,保证六孔光阑(1)、六个缩束聚焦透镜组(2)和六个位置灵敏探测器(3)在安装校准之后能够保持相对位置关系。
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