[发明专利]反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法

摘要

本发明涉及反应精馏处理硅烷尾气的装置和方法，将氯硅烷从氯硅烷入口中加入到反应精馏塔中，硅烷尾气从硅烷尾气入口中加入到反应精馏塔，硅烷尾气和氯硅烷在反应段发生反应，其中氯硅烷是四氯化硅、三氯氢硅、二氯氢硅中两种或三种混合物，氯硅烷和少量不与氯硅烷反应的尾气在精馏段分离，氯硅烷在塔顶冷凝器冷凝，残留尾气从尾气出口采出，氯硅烷和少量硅烷尾气在提馏段分离，氯硅烷回流至塔釜，循环泵将大部分氯硅烷循环至反应段上段，部分氯硅烷从塔釜采出口采出。硅烷尾气的处理率几乎达到100％。本发明实现硅烷尾气无害化处理，实现硅烷法生产多晶硅的闭路循环，具有安全性、经济性、环保性、创造性和新颖性。

主权项

一种反应精馏处理硅烷尾气的装置；其特征是装置为精馏塔；精馏塔设置有精馏段、反应段和提馏段；在精馏段上设置有塔顶冷凝器，塔釜设置有再沸器，精馏段和提馏段中设置有规整填料，反应段中设置有结构催化剂，塔顶设置有尾气出口；在精馏段和反应段之间设置有氯硅烷入口，在反应段和提馏段之间设置有硅烷尾气入口；塔釜与精馏段和反应段之间某处安装循环泵，他们之间通过管道连接；塔釜上设置有三氯硅烷采出口。